Product Category: 히터, 척 & 정전척

세라믹 제품 써멀 레벨러 전도성 빌렛 열 균일성을 높여 반도체 공정 수율 향상 열 레벨러 전도성 빌릿의 온도 균일성이 개선되어 웨이퍼 공정 애플리케이션에서 수율이 향상되고, 온도 안정화가 빨라지며, 처리량이 개선됩니다.

세라믹 제품 히터 및 열관리 솔루션 고온에서 온도 균일성 향상 40년 이상 반도체 히터 솔루션과 반도체 화합물을 설계해 온 Momentive Technologies는 고객의 크리스털 및 웨이퍼 가공 장비 차별화에 도움을 드릴

세라믹 제품 pBN 히터 및 정전기 척 고온 반도체 공정용 pBN 히터 및 척(ESC) pBN/PG 히터는 초고진공하에 1700°C 이상에서 우수한 열 균일성(웨이퍼에서 2°C)을 구현 할수 있습니다. 깨지지 않는 내화 소재로서,

세라믹 제품 TaC 코팅 흑연 히터 고온 박막 증착 장비용 Momentive Quartz Technologies Inc는 탄탈륨 카바이드(TaC)로 알려진 독점 코팅이 적용된 고온 저항성 또는 유도성 히터를 제공합니다. 고온 안정성과 높은 내화학성을