세라믹 제품

TaC 코팅 흑연 히터

고온 박막 증착 장비용

Momentive Quartz Technologies Inc는 탄탈륨 카바이드(TaC)로 알려진 독점 코팅이 적용된 고온 저항성 또는 유도성 히터를 제공합니다. 고온 안정성과 높은 내화학성을 갖춘 TaC 코팅 흑연 히터는 열악한 환경에서 히터의 수명을 늘리고 장비 유지보수 주기/비용을 줄이며 생산 수율을 높이는 보다 견고한 가열 솔루션을 제공합니다.

주요 특성

  • 온도 안정성 >2200 °C
  • 초고순도
  • 입자 방출이 적은 하드 코팅
  • H2, NH3, SiH4, CH4에 대한 내성
  • 열 충격 저항성
  • 안정적인 고온 전기 저항
  • 견고한 전기 접촉
  • 컨포멀 코팅 커버리지
  • 흑연에 강한 접착력
  • 간단한 1D 도형부터 복잡한 3D 도형까지

활용 분야

  • 저항성 가열 코일
  • CVD 핫 필라멘트
  • 유도 가열판
  • 유도 가열 실린더

높은 결정성과 우수한 균일성을 갖춘 TaC 코팅

TaC-Coating-with-High-Crystallinity-and-Excellent-Uniformity 10µm
10µm
TaC-Coating-with-High-Crystallinity-and-Excellent-Uniformity 300µm
300µm

1100°C에서 TaC 히터의 적외선 및 광학 이미지

1000°C/분 속도로 2000°C까지 열 순환되는 TaC 핫 필라멘트 열전사

TaC와 SiC 코팅의 일반적 특성 비교

밀도(gm/cm3) 방사율(1) CTE (x10-6/K) 경도(HK) 저항(Ohm-cm) 열 안정성 NH3에서의 식각율(μm/hr)(2) H2에서의 식각율(μm/hr)(3) 두께 변화
TaC
14.3
0.3
6.3
2000
1x10-5
>2200 °C
0.2
0.1
~5%
SiC
3.2
0.8
4.5
2800
2x10-3
<1600 °C
1.5
1.7
~10%

참고 : 시험 데이터입니다. 실제 결과는 다를 수 있습니다.
일반적인 특성은 평균적인 데이터에 근거한 것이므로 개발 사양이 아니며, 개발 사양으로 사용하여서도 안 됩니다.
(1) 방사율은 1000 °C, 950nm에서 측정한 수치입니다.
(2) 식각율은 1400 °C와 500 토르, NH3에서 측정한 수치입니다.
(3) 식각율은 1400 °C와 760 토르, H2에서 측정한 수치입니다.

제품 데이터시트 다운로드

TaC 히터

This field is for validation purposes and should be left unchanged.

자세한 정보 보기

TaC 히터

Hidden
성명*
This field is for validation purposes and should be left unchanged.

台湾办事处

No. 6, 10th Floor, No. 65, Gaotie 7th Road, Zhubei City, Hsinchu, Taiwan

中国办事处

No. 1088 Yuanshen road, Suite 1101 Ping’an Fortune Building, Shanghai 200122, China

+86 21 5848 1388

한국사무소

Momentive Technologies Korea Ltd.

7F of WONIK Building, 20, Pangyo-ro 255beon-gil, Bundang-gu, Seongnam-si, Gyeonggi-do,
Republic of Korea

+82 31 8038 9069

日本オフィス

Momentive Technologies Japan KK

Park West 10th floor, 6-12-1, Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 1600023,
Japan

+81 3 6721 1910