세라믹 제품

히터 및 열관리 솔루션

고온에서 온도 균일성 향상

40년 이상 반도체 히터 솔루션과 반도체 화합물을 설계해 온 Momentive Technologies는 고객의 크리스털 및 웨이퍼 가공 장비 차별화에 도움을 드릴 수 있습니다. Momentive Technologies는 오랜 경험을 바탕으로 500°C 이상의 고온 응용 분야와 열 균일성(<2°C) 향상 및 전체 소유 비용에 초점을 맞추어 다양하고 새로운 히터 솔루션을 설계했습니다.

특성 및 장점

  • 열 충격에 저항성이 높고 안정적인 소재로 히터 수명 손상 없이 최대 1500°C까지 연속 작동이 가능합니다
  • 각 사이클에 소요되는 시간이 짧고 100°C/sec 이상의 온도 램핑 속도로 인해 한꺼번에 많은 작업 처리하고 절전 효과도 높습니다
  • 여러 영역 조정 가능성, 전반적 설계의 다양성 및 우수한 3D 기능으로 웨이퍼의 열 균열성이 우수합니다
  • 우수한 전기 저항과 저항 조정 능력으로 고온 정전기 처킹에 활용할 수 있습니다

Momentive Technologies는 고객의 열, 전력, 크기 사양에 정확하게 부합하도록 pBN/PG 히터, TaC 히터, 히터 모듈 및 열 레벨러를 제조하고 있습니다. 전문 엔지니어 팀이 분석 화학 시험 관련 풀 서비스를 제공하며 고객 여러분과 사업에 적합한 솔루션 설계를 도와드립니다.

Heaters Thermal Solutions

활용 분야

  • 이온 주입, 스퍼터링, 증착, MBE, ALD, MOCVD, PECVD 및 RTP와 같은 반도체 공정 장비
  • OLED 전극, CIGS 태양전지 공정 장비 등 금속 증착 및 용융금속 공정 장비
  • 고온 유리 성형

pBN 히터 및 척(ESC)

pBN/PG 히터는 열 균일성이 우수하여(웨이퍼에서 2°C) 1700°C 이상의 초고도 진공에서도 작동할 수 있습니다. 부스러짐과 균열이 발생하지 않는 내화 소재이므로 고온 화학 기상 증착 방법으로 생산하여 탁월한 순도를 자랑하고, 대부분의 부식성 가스 및 액체에 불활성이고 용융금속에도 영향을 받지 않습니다. Momentive Technologies는 고객의 필요에 따라 고온(최대 1000°C) 웨이퍼 가공에 적합하도록 히터 척(ESC)을 맞춤 설계하여 드립니다.

TaC 히터

TaC 코팅 흑연 히터는 고온에서 안정적이고 내화학성이 높아 열악한 환경에서도 그 수명이 길고, 장비 유지 보수 주기와 비용이 저렴하면서도 생산 수율이 높은 강력한 히팅 솔루션입니다. TaC 히터는 2200°C 이상에도 안정적이며 H2, NH3, SiH4 및 CH4에도 저항성을 발휘합니다.

TaC Heaters
밀도(gm/cm3) 방사율 CTE (x10-6/K) 경도(HK) 저항(Ohm-cm) 열 안정성 NH3에서의 식각율(μm/hr) H2에서의 식각율(μm/hr) 두께 변화
TaC
14.3
0.3
6.3
2000
1x10-5
>2200°C
0.2
0.1
-5%
SiC
3.2
0.8
4.5
2800
2x10-3
<1600°C
1.5
1.7
-10%

일반적 수치.

이 차트에 제공된 정보는 정보 제공의 목적으로만 제공됩니다. 해당 정보는 제품이나 소재에 대한 권장 사항이 아니며 특정 사용 사례나 필요에 적용할 때는 사용자 본인의 전문성과 전문 지식을 활용한다는 명시적 조건에 따라 이에 공유하는 것입니다. 이는 일반적인 정보일 뿐이며, Momentive Technologies가 아직 파악하지 못한 여타의 개별적 요인에 따라 해당 정보의 유효성이 달라질 수 있습니다. 본 정보를 특정 상황과 관련하여 적절하게 해석하고 적용하는 것은 해당 정보를 사용하는 사용자의 책임입니다.

Thermal Levelers

열 레벨러

독보적인 열분해 흑연(TPG, 1500W/mK) 기반의 레벨러를 사용하면 신규 모듈/페디스털 솔루션의 균일성이 매우 탁월하게 향상됩니다. 기존의 패디스털에 활용해도 균일성이 크게 개선됩니다. 반도체 히터 시장에 대한 Momentive Technologies의 축적된 지식과 수십 년간 항공우주 및 군사 시장에 열 관리 방열판을 공급한 경험을 바탕으로 개발한 Momentive Technologies만의 열 레벨러는 3배나 개선된 균일성을 보입니다. 이 모든 제품은 기존의 히터 솔루션에 훌륭하게 적용할 수 있습니다. 기존 솔루션에 적용시 수율과 처리량이 개선됩니다.

모듈

pBN 히터 및/또는 척이 포함된 맞춤형 플러그 앤 플레이 통합 모듈은 열 균일성과 처리량이 높고, 유지 관리가 더욱 편리하며 수명도 매우 깁니다.

Modules

상세 정보 요청

pBN 히터 및 E 척(ESC)

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