세라믹 제품
TAC 코팅 흑연로 부품
SiC 및 AIN 결정 성장
Momentive Technologies는 탄탈륨 카바이드(Tantalum Carbide, TaC) 코팅이라고 하는 독보적인 코팅 기술을 보유하고 있습니다. TaC는 고온에서 안정적이고 내화학성이 높아 흑연과 접촉하는 오염을 억제하고 흑연 부품 수명을 연장하며 승화 화학량론을
유지합니다.
궁극적으로 TaC 코팅 흑연 부품은 물리적 기상 수송(Physical vapor transport, PVT) 및 고온 화학 기상 증착(High-temperature chemical vapor deposition, HT-CVD) 원리를 통해 SiC 및 AlN 결정 성장의 공정 수율과 결정 품질을 개선하게 됩니다.
주요 특성
- 온도 안정성 >2200 °C
- 초고순도
- Si 및 H에 대한 내성
- 열 충격 저항성
- 흑연에 강한 접착력
- 컨포멀 코팅 커버리지
- 최대 직경 750mm 크기
활용 분야
- 크루시블(Crucible)
- 뚜껑(Lid)
- 시드 홀더(seed holder)
- 링(Ring)
- 인젝터(Injector)
- 서셉터(Susceptor)
높은 결정성과 우수한 균일성을 보이는 TaC 코팅
TaC 코팅과 정제된 연구 등급의 흑연 비교
| 단위(ppm. 중량) | B | N | O | Si | S | Cl | Nb |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
TaC |
<0.01 |
15 |
40 |
<0.01 |
<0.01 |
14 |
14 |
|
흑연 |
1 |
480 |
260 |
2 |
5 |
2 |
<0.01 |
TAC 코팅 흑연 크루시블와 기존 흑연 크루시블에서 성장시킨 SiC 웨이퍼의 일반적 결함 비교
TAC 코팅 흑연 크루시블와 기존 흑연 크루시블에서 성장시킨 SiC 웨이퍼의 전기적 특성 비교
| 벌크 농도 | 벌크 저항성 | 이동성 | |
|---|---|---|---|
|
TaC |
8 x 1015/cm |
4.5 ohm-cm |
237 cm2/Vs |
|
흑연 |
5 x 1017/cm |
0.1 ohm-cm |
151 cm2/Vs |
TaC와 SiC 코팅의 일반적 특성 비교
| 밀도(gm/cm3) | 방사율(1) | CTE (x10-6/K) | 경도(HK) | 저항(Ohm-cm) | 열 안정성 | NH3에서의 식각율(μm/hr)(2) | H2에서의 식각율(μm/hr)(3) | 두께 변화 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
TaC |
14.3 |
0.3 |
6.3 |
2000 |
1x10-5 |
>2200 °C |
0.2 |
0.1 |
~5% |
|
SiC |
3.2 |
0.8 |
4.5 |
2800 |
2x10-3 |
<1600 °C |
1.5 |
1.7 |
~10% |
참고 : 시험 데이터입니다. 실제 결과는 다를 수 있습니다.
일반적인 특성은 평균적인 데이터에 근거한 것이므로 개발 사양이 아니며, 개발 사양으로 사용하여서도 안 됩니다.
(1) 방사율은 1000 °C, 950nm에서 측정한 수치입니다.
(2) 식각율은 1400 °C와 500 토르, NH3에서 측정한 수치입니다.
(3) 식각율은 1400 °C와 760 토르, H2에서 측정한 수치입니다.
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