쿼츠 제품
쿼츠 잉곳
견고한 신뢰성
Momentive Technologies는 고급 웨이퍼 가공에 필요한 탁월한 성능의 고순도의 투명 용융 잉곳과 불투명 쿼츠 잉곳을 생산합니다. 제품 고유의 순수성으로 인해 백만분의 일 또는 십억분의 일 수준의 미량 원소만이 존재하므로 이를 이용하는 칩 제조업체는 첨단의 제품 성능과 수율을 달성할 수 있습니다. 수산기(-OH) 함량을 낮추도록 특별히 가공한 Momentive Technologies 쿼츠 잉곳은 고온 응용 분야에 탁월한 솔루션입니다.
주요 특성
- 예외적으로 높은 순도로 인해 프런트 엔드 반도체 웨이퍼 가공 과정에서 매우 깨끗한 환경이 조성됩니다
- 소재가 균질하여 일관되고 예측 가능한 성능을 가져다 줍니다
- 수산기 함량이 낮아 고온 응용 분야에서 높은 점도를 달성합니다
- “정밀 복제(Copy Exactly)” 과정을 통해 동일한 제품 출시와 일관된 수율을 제공합니다
- 광범위한 규격으로 생산하여 다양한 형태의 제작에 유연성을 제공합니다
- 글로벌 공인 제작업체 네트워크가 Momentive Technologies의 쿼츠 잉곳을 완제품으로 정확하게 변환하여 드립니다
잠재적 응용 분야
- 식각, 확산, 증착 및 탱크용 반도체 웨이퍼 가공 장비
- LED 웨이퍼 가공
- 솔라 웨이퍼 가공
- 광학 분야
Momentive Technologies의 쿼츠 잉곳은 다양한 용도에 따라 여러 고순도 등급의 제품으로 생산됩니다. 속이 빈 할로우 실린더에서 대형 솔리드 잉곳에 이르기까지 다양한 폼 팩터를 갖추고 있어 부품 제작 과정에서 최고의 유연성을 발휘합니다. 잉곳의 소재 물질은 전세계의 네트워크를 통해 공급됩니다.
제품 등급
| 등급 | 설명 | 적용분야 |
|---|---|---|
|
124™ |
표준 고순도 쿼츠 |
반도체, LED, 솔라 웨이퍼 가공 및 광학 분야 |
|
144™ |
저농도 Al + 저알칼리 쿼츠 |
프리미엄 반도체 웨이퍼 가공 |
|
012™/012AI |
합성 초고순도 쿼츠; 저수산기 함량 |
고급 노드 반도체 웨이퍼 가공 및 광학 분야 |
|
i21™ |
프리미엄 비주얼급 품질; 다양한 순도로 사용 가능 |
반도체 웨이퍼 가공 및 광학 분야 |
최대 미량 불순물(단위: wppm)
| 제품 | Al | Ca | Cu | Fe | Li | Mg | Mn | K | Na | Ti | Zr |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
124 |
19 |
2.0 |
0.10 |
0.8 |
2.0 |
1.0 |
0.24 |
3.0 |
2.5 |
2.0 |
3.5 |
|
144 |
10 |
2.0 |
0.009 |
0.8 |
0.4 |
1.0 |
0.24 |
0.4 |
0.5 |
2.0 |
3.5 |
|
012 |
0.5 |
0.15 |
0.05 |
0.2 |
0.15 |
0.1 |
0.05 |
0.2 |
0.2 |
0.16 |
0.3 |
|
012AI |
9~14* |
0.15 |
0.05 |
0.2 |
0.15 |
0.1 |
0.05 |
0.2 |
0.2 |
0.16 |
0.3 |
|
i21-24 |
19 |
2.0 |
0.10 |
0.8 |
2.0 |
1.0 |
0.24 |
3.0 |
2.5 |
2.0 |
3.5 |
|
i21-44 |
10 |
2.0 |
0.009 |
0.8 |
0.4 |
1.0 |
0.24 |
0.4 |
0.5 |
2.0 |
3.5 |
* 참고: 최소= 9 ppm, 최대= 14 ppm
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