쿼츠 제품

쿼츠 잉곳

고형물 신뢰도

모멘티브 테크놀로지스는 고급 웨이퍼 처리를 위한 고성능을 제공하는 고순도 투명 용융 및 불투명 석영 잉곳을 생산합니다. 고유한 백만 개당 부품 수 및 10억 개당 부품 수 추적 요소 수준을 통해 칩 제조업체는 최첨단 성능과 수율을 달성할 수 있습니다. 수산화(-OH) 수치가 낮도록 특수 가공된 모멘티브 테크놀로지스 석영 잉곳은 고온 애플리케이션에 탁월한 솔루션입니다.

주요 특성

  • 매우 높은 순도로 프런트엔드 반도체 웨이퍼 공정 중 초청정 환경 제공
  • 소재의 균질성으로 균일하고 예측 가능한 성능 제공
  • 낮은 하이드 록실은 고온 응용 분야에서 높은 점도를 달성합니다.
  • ‘정확히 복사’ 프로세스는 동일한 출력과 일관된 수율을 제공합니다.
  • 다양한 크기로 다양한 형태의 제작을 위한 유연성 제공
  • 모멘티브 테크놀로지스 석영 잉곳을 완제품으로 정밀하게 변환하는 글로벌 공인 제조 업체 네트워크

활용 분야

  • 식각, 확산, 증착 및 탱크를 위한 반도체 웨이퍼 처리 장비
  • LED 웨이퍼 처리
  • 태양광 웨이퍼 처리
  • 광학

모멘티브 테크놀로지스의 석영 잉곳은 다양한 애플리케이션에 적합하도록 여러 가지 고순도 등급으로 생산됩니다. 중공 실린더부터 대형 고체 잉곳에 이르기까지 다양한 폼 팩터를 사용할 수 있어 부품 제작 시 최고의 유연성을 제공합니다. 잉곳 소재는 전 세계 네트워크를 통해 제공됩니다.

제품 등급

등급 설명 애플리케이션
124™
표준 고순도 쿼츠
반도체, LED, 솔라 웨이퍼 가공 및 광학 분야
144™
저농도 Al + 저알칼리 쿼츠
프리미엄 반도체 웨이퍼 가공
012™/012AI
합성 초고순도 쿼츠; 저수산기 함량
고급 노드 반도체 웨이퍼 가공 및 광학 분야
i21™
프리미엄 비주얼급 품질; 다양한 순도로 사용 가능
반도체 웨이퍼 가공 및 광학 분야
quartz solids

최대 미량 불순물(단위: wppm)

제품 Al Ca Cu Fe Li Mg Mn K Na Ti Zr
124
19
2.0
0.10
0.8
2.0
1.0
0.24
3.0
2.5
2.0
3.5
144
10
2.0
0.009
0.8
0.4
1.0
0.24
0.4
0.5
2.0
3.5
012
0.5
0.15
0.05
0.2
0.15
0.1
0.05
0.2
0.2
0.16
0.3
012AI
9~14*
0.15
0.05
0.2
0.15
0.1
0.05
0.2
0.2
0.16
0.3
i21-24
19
2.0
0.10
0.8
2.0
1.0
0.24
3.0
2.5
2.0
3.5
i21-44
10
2.0
0.009
0.8
0.4
1.0
0.24
0.4
0.5
2.0
3.5

* 참고: 최소= 9ppm, 최대= 14ppm

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