히터, 척 & 정전척

세라믹 제품 써멀 레벨러 전도성 빌렛 열 균일성을 높여 반도체 공정 수율 향상 열 레벨러 전도성 빌릿의 온도 균일성이 개선되어 웨이퍼 공정 애플리케이션에서 수율이 향상되고, 온도 안정화가 빨라지며, 처리량이 개선됩니다. 또한 TPG®가 통합된 모멘티브 테크놀로지스의 완전 패시브 솔루션은 더 단순한 설계와 내식성 소재를 가능하게 합니다. 일반적인 응용 분야에는 CVD, ALD 또는 PVD와 같은 고온 박막 […]

세라믹 제품 히터 및 열관리 솔루션 고온에서 온도 균일성 향상 40년 이상 반도체 히터 솔루션과 반도체 화합물을 설계해 온 Momentive Technologies는 고객의 크리스털 및 웨이퍼 가공 장비 차별화에 도움을 드릴 수 있습니다. Momentive Technologies는 오랜 경험을 바탕으로 500°C 이상의 고온 응용 분야와 열 균일성(encoded_tag_open<2°C) 향상 및 전체 소유 비용에 초점을 맞추어 다양하고 새로운 히터 솔루션을

세라믹 제품 pBN 히터 및 정전기 척 고온 반도체 공정용 pBN 히터 및 척(ESC) pBN/PG 히터는 초고진공하에 1700°C 이상에서 우수한 열 균일성(웨이퍼에서 2°C)을 구현 할수 있습니다. 깨지지 않는 내화 소재로서, 이 소재는 대부분의 부식성 가스 및 액체에 대한 화학적 불활성을 부여하고 대부분의 용융 금속과 반응하지 않게 해주는 고온화학기상증착법 코팅 적용으로 순도가 매우 높습니다. Momentive Technologies는

세라믹 제품 TaC 코팅 흑연 히터 고온 박막 증착 장비용 Momentive Quartz Technologies Inc는 탄탈륨 카바이드(TaC)로 알려진 독점 코팅이 적용된 고온 저항성 또는 유도성 히터를 제공합니다. 고온 안정성과 높은 내화학성을 갖춘 TaC 코팅 흑연 히터는 열악한 환경에서 히터의 수명을 늘리고 장비 유지보수 주기/비용을 줄이며 생산 수율을 높이는 보다 견고한 가열 솔루션을 제공합니다. 주요 특성 온도