세라믹 제품

히터, 척 & 정전척

고온에서 온도 균일성 향상

40년 이상 반도체 히터 솔루션과 반도체 화합물을 설계해 온 Momentive Technologies는 고객의 크리스털 및 웨이퍼 가공 장비 차별화에 도움을 드릴 수 있습니다. Momentive Technologies는 오랜 경험을 바탕으로 500°C 이상의 고온 응용 분야와 열 균일성(encoded_tag_open<2°C) 향상 및 전체 소유 비용에 초점을 맞추어 다양하고 새로운 히터 솔루션을 설계했습니다.

특성 및 장점

열 충격 방지 및 열 안정성 소재로 히터 수명을 오래 유지하는 한편, 최고 1500°C의 온도에서 연속 작동이 가능합니다.
빠른 주기와 100°C/초 이상의 온도 상승 속도를 구현할 수 있으며, 이로 인하여 고객사에게 절전 효과를 높여줍니다.
히터 표면 온도 균일성 확보를 위하여 멀티존 온도 제어기능, 다양한 형태의 히터 설계, 3D 특성으로 우수한 웨이퍼표면의 열 균일성을 확보하는데 도움을 드립니다.
우수한 전기 저항성과 저항 조정 기능을 통해 고온 정전 척을 히터와 일체화가 가능합니다.

활용 분야

이온 주입, 스퍼터링, 증착, MBE, ALD, MOCVD, PECVD, RTP 등의 반도체 공정 장비
Metal evaporation and molten metal processing equipment such as OLED electrodes and CIGS solar cell processing equipment
고온 유리 성형

Momentive Technologies는 고객의 열, 전력, 크기 사양에 적합한 pBN/PG 히터, TaC 히터, 히터 모듈, 웨이퍼 표면의 위치별 온도 변화 최소를 위한 제품등을 제조합니다. 당사는 귀하와 귀하의 응용 분야에 적합한 솔루션을 설계할 수 있는 연구소와 전문 엔지니어 팀을 보유하고 있습니다.

pBN 히터 및 척(ESC)

pBN/PG 히터는 초고진공하에 1700°C 이상에서 우수한 열 균일성(웨이퍼에서 2°C)을 구현 할수 있습니다. 깨지지 않는 내화 소재로서, 이 소재는 대부분의 부식성 가스 및 액체에 대한 화학적 불활성을 부여하고 대부분의 용융 금속과 반응하지 않게 해주는 고온화학기상증착법 코팅 적용으로 순도가 매우 높습니다. Momentive Technologies는 고온(최대 1000°C) 웨이퍼 처리 요건에 맞춰 히터 척(ESC)을 맞춤 설계할 수 있습니다.

TAC 히터

극도의 열 안정성 및 내화학성

TaC 코팅 흑연 히터는 열악한 환경에서 히터의 수명을 연장하고 장비 유지보수 주기/비용을 줄이는 한편 생산수율은 높이는 강력한 장점을 제공합니다. TaC 히터는 2200°C 이상의 온도에서도 안정적이며 H₂, NH₃, SiH₄, CH₄에 내성이 있습니다.

	밀도(gm/cm³)	방사율	CTE (xl0^-6/K)	경도(HK)	저항(Ohm-cm)	열 안정성	NH3에서의 식각율(μm/hr)	H2에서의 식각율(μm/hr)	두께 변화
TaC	14.3	0.3	6.3	2000	1×10^-5	>2200°C	0.2	0.1	-5%
SiC	3.2	0.8	4.5	2800	2×10^-3	<1600°C	1.5	1.7	-10%

일반적인 값.
이 차트에 제공된 정보는 정보 제공만을 목적으로 합니다. 본 차트의 정보는 제품/소재 권장 사항에 해당하지 않으며, 특정 사례 또는 국면에 해당 정보를 적용할 경우 귀하는 자신의 전문 지식과 판단력에 의거하여 직접 세부 사항을 결정해야 합니다. 본 정보는 일반적인 수준의 정보에 지나지 않으며, 유효성 여부는 Momentive Technologies가 인지하지 못하는 개별 요인에 영향을 받을 수 있습니다. 특정 상황에 있어서 정보를 적절하게 해석하고 적용하는 것은 전적으로 해당 정보 사용자의 책임입니다.

열 레벨러

당사의 TPG(열분해성흑연, 1500W/mK)계 thermal leveler는 신규 모듈/받침대 솔루션의 균일성을 현저하게 개선하고, 한편으로는 기존 받침대에 대한 드롭인 균일성을 업그레이드합니다. 수십 년간 항공우주/군사 시장에 열관리성 히트싱크를 공급한 경험과 반도체 히터 시장에 대한 당사의 이해가 하나로 합쳐진 당사의 thermal leveler는 3배 더 뛰어난 균일성을 자랑합니다. 이를 기존의 적용 중인 히터 적용하면 수율을 개선하고 처리량을 늘릴 수 있습니다.

모듈

pBN 히터 및/또는 척이 포함된 맞춤형 플러그 앤드 플레이 모듈은 탁월한 열 균일성, 우수한 생산성, 긴 수명, 유지관리의 용이성을 보장합니다.

자세한 정보 보기