세라믹 제품

히터 및 열관리 솔루션

고온에서 온도 균일성 향상

pBN 히터 및 척(ESC)

pBN/PG 히터는 초고진공하에 1700°C 이상에서 우수한 열 균일성(웨이퍼에서 2°C)을 구현 할수 있습니다. 깨지지 않는 내화 소재로서, 이 소재는 대부분의 부식성 가스 및 액체에 대한 화학적 불활성을 부여하고 대부분의 용융 금속과 반응하지 않게 해주는 고온화학기상증착법 코팅 적용으로 순도가 매우 높습니다. Momentive Technologies는 고온(최대 1000°C) 웨이퍼 처리 요건에 맞춰 히터 척(ESC)을 맞춤 설계할 수 있습니다.

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pBN 히터 및 척(ESC)

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