세라믹 제품

카바이드 코팅

극도의 열 안정성 및 내화학성

Momentive Technologies의 고유한 카바이드 코팅 기술은 열악한 반도체 소재 가공 및 화합물 반도체 가공 환경에서 탁월한 성능으로 흑연을 보호합니다. 그 결과 흑연 부품의 수명이 연장되고, 반응의 화학양론이 유지되며 불순물이 에피택시로 이동하는 현상이 억제되므로 결정 성장 시 수율과 품질이 향상됩니다.

특성 및 장점

2000°C 이상의 온도에서도 안정성을 보이므로 초고온 작동에 유리합니다
H₂, NH₃, SiH₄및 Si에 대한 내성으로 열악한 환경에서도 보호 기능을 제공합니다
열충격에 대한 내성을 보이므로 작동 주기가 짧아집니다
흑연에 대한 강력한 접착력으로 코팅 박리 없이 긴 수명을 보장합니다
초고순도로 인해 원치 않는 불순물이나 오염 물질에 대한 위험이 없습니다
컨포멀 코팅 커버리지로 엄격한 규격 오차도 성취 가능합니다

Momentive Technologies의 탄탈륨 카바이드(Tantalum Carbide, TaC)와 니오븀 카바이드(Niobium Carbide, NbC) 코팅 기술은 최대 2200°C까지의 고온에서도 뜨거운 암모니아나 수소, 실리콘 증기나 용융 금속으로부터 핵심 로(Furnace)와 리액터 부품을 보호합니다. Momentive Technologies는 고객의 특정 용도에 따라 광범위한 흑연 가공 및 측정 기능을 갖추고 유료 코팅이나 풀 서비스 기반의 코팅을 제공합니다. Momentive Technologies의 전문 엔지니어 팀은 언제든지 고객 여러분과 사업에 적합한 솔루션 설계를 도와드립니다.

TaC 코팅과 정제된 연구 등급의 흑연 비교

	B	N	O	Si	S	Cl	Nb
TaC	< 0.01	15	40	< 0.01	< 0.01	14	14
흑연	1	480	260	2	5	2	< 0.01

일반적 수치.

TAC 코팅 흑연 크루시블와 기존 흑연 크루시블에서 성장시킨 SiC 웨이퍼의 전기적 특성 비교

	밀도(gm/cm³)	방사율	CTE(× ^10-6/K)	경도(HK)	저항(Ohm-cm)	열 안정성	두께 변화	흑연 규격 변화
TaC	14.3	0.3	6.3	2000	1x10^-5	> 2200°C	-5%	-17µm

일반적 수치.

Tac 코팅의 일반적인 물리적 특성

	벌크 농도	벌크 저항성	이동성
TaC	8 x 10¹⁵/cm	4.5 ohm-cm	237 cm²/Vs
흑연	5 x 10¹⁷/cm	0.1 ohm-cm	151 cm²/Vs

일반적 수치.

TaC 대 SiC

	밀도(gm/cm³)	방사율	CTE(× ^10-6/K)	경도(HK)	저항(Ohm-cm)	열 안정성	NH3에서의 식각율(μm/hr)	H2에서의 식각율(μm/hr)	두께 변화
TaC	14.3	0.3	6.3	2000	1x10^-5	> 2200°C	0.2	0.1	-5%
SiC	3.2	0.8	4.5	2800	2x10^-3	< 1600°C	1.5	1.7	-10%

일반적 수치.

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활용 분야

웨이퍼 캐리어, 위성 디스크, 샤워헤드, 천장 및 서셉터 등 GaN 및 SiC 에피택셜 CVD 리액터 부품
크루시블, 시드 홀더, 가이드 링 및 필터 등의 SiC, GaN 및 AlN 결정 성장 부품
저항 발열체, 주입 노즐, 마스킹 링 및 브레이징 고정 장치 등의 산업용 부품

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