가공된 흑연 하드웨어를 밀봉하기 위한 코팅으로 널리 사용되는 열분해 흑연(PG)은 불투과성 보호층을 형성하며 기존 흑연으로는 달성할 수 없는 기계적, 열적, 전기적 특성을 지니고 있습니다. 초순수 제품인 PG는 이론 밀도에 가깝고 이방성이 매우 높습니다(ab 방향 300W/m-K, c 방향 3.5W/m-K). PG는 화학적으로 불활성이며 극한의 온도(최대 3000°C)에서도 안정적입니다.
특성 및 장점
화학적 불활성으로 특정 화학적 부식에 대한 보호 층 역할을 합니다.
초고순도로 오염 위험 최소화
3000°C까지 안정적으로 유지되어 고온 애플리케이션에서 신뢰성 보장
불투과성으로 고진공 애플리케이션에서 사용 가능
자체 윤활 기능으로 가공 시 특별한 툴링이 필요 없음
에칭 속도가 낮으면 특정 화학적 환경에서 에칭 저항성 층이 생성됩니다.
방향성 전기 및 열 특성은 고온에서 전기 발열체 및 열 차폐 재료로 활용할 수 있습니다.
먼지가 발생하지 않아 진공 환경에서도 사용 가능
엔지니어링 코팅 솔루션 분야의 글로벌 기술 리더로 인정받고 있는 Momentive Technologies는 고객의 맞춤형 요구 사항을 처리할 수 있는 광범위한 흑연 가공 및 측정 역량을 보유하고 있습니다. 이 특수 흑연은 판재, 가공된 형태 또는 흑연 위에 코팅된 형태로 제공됩니다. 당사의 전문 엔지니어 팀은 고객과 고객의 응용 분야에 적합한 솔루션을 설계하기 위해 항시 대기하고 있습니다.
활용 분야
스퍼터링 타겟, 이온 빔 그리드, 이온 임플란트 하드웨어, 액상 에피택시 하드웨어 및 크리스탈 성장을 포함한 반도체 애플리케이션
