세라믹 제품
히터, 척 & 정전척
고온에서 온도 균일성 향상
40년 이상 반도체 히터 솔루션과 반도체 화합물을 설계해 온 Momentive Technologies는 고객의 크리스털 및 웨이퍼 가공 장비 차별화에 도움을 드릴 수 있습니다. Momentive Technologies는 오랜 경험을 바탕으로 500°C 이상의 고온 응용 분야와 열 균일성(encoded_tag_open<2°C) 향상 및 전체 소유 비용에 초점을 맞추어 다양하고 새로운 히터 솔루션을 설계했습니다.
특성 및 장점
- 열 충격 방지 및 열 안정성 소재로 히터 수명을 오래 유지하는 한편, 최고 1500°C의 온도에서 연속 작동이 가능합니다.
- 빠른 주기와 100°C/초 이상의 온도 상승 속도를 구현할 수 있으며, 이로 인하여 고객사에게 절전 효과를 높여줍니다.
- 히터 표면 온도 균일성 확보를 위하여 멀티존 온도 제어기능, 다양한 형태의 히터 설계, 3D 특성으로 우수한 웨이퍼표면의 열 균일성을 확보하는데 도움을 드립니다.
- 우수한 전기 저항성과 저항 조정 기능을 통해 고온 정전 척을 히터와 일체화가 가능합니다.
활용 분야
- 이온 주입, 스퍼터링, 증착, MBE, ALD, MOCVD, PECVD, RTP 등의 반도체 공정 장비
- Metal evaporation and molten metal processing equipment such as OLED electrodes and CIGS solar cell processing equipment
- 고온 유리 성형
Momentive Technologies는 고객의 열, 전력, 크기 사양에 적합한 pBN/PG 히터, TaC 히터, 히터 모듈, 웨이퍼 표면의 위치별 온도 변화 최소를 위한 제품등을 제조합니다. 당사는 귀하와 귀하의 응용 분야에 적합한 솔루션을 설계할 수 있는 연구소와 전문 엔지니어 팀을 보유하고 있습니다.
pBN 히터 및 척(ESC)
pBN/PG 히터는 초고진공하에 1700°C 이상에서 우수한 열 균일성(웨이퍼에서 2°C)을 구현 할수 있습니다. 깨지지 않는 내화 소재로서, 이 소재는 대부분의 부식성 가스 및 액체에 대한 화학적 불활성을 부여하고 대부분의 용융 금속과 반응하지 않게 해주는 고온화학기상증착법 코팅 적용으로 순도가 매우 높습니다. Momentive Technologies는 고온(최대 1000°C) 웨이퍼 처리 요건에 맞춰 히터 척(ESC)을 맞춤 설계할 수 있습니다.
극도의 열 안정성 및 내화학성
TaC 코팅 흑연 히터는 열악한 환경에서 히터의 수명을 연장하고 장비 유지보수 주기/비용을 줄이는 한편 생산수율은 높이는 강력한 장점을 제공합니다. TaC 히터는 2200°C 이상의 온도에서도 안정적이며 H2, NH3, SiH4, CH4에 내성이 있습니다.
| 밀도(gm/cm3) | 방사율 | CTE (xl0-6/K) | 경도(HK) | 저항(Ohm-cm) | 열 안정성 | NH3에서의 식각율(μm/hr) | H2에서의 식각율(μm/hr) | 두께 변화 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
TaC |
14.3 |
0.3 |
6.3 |
2000 |
1x10-5 |
>2200°C |
0.2 |
0.1 |
-5% |
|
SiC |
3.2 |
0.8 |
4.5 |
2800 |
2x10-3 |
<1600°C |
1.5 |
1.7 |
-10% |
일반적 수치.
이 차트에 제공된 정보는 정보 제공의 목적으로만 제공됩니다. 본 차트의 정보는 제품/소재 권장 사항에 해당하지 않으며, 특정 사례 또는 국면에 해당 정보를 적용할 경우 귀하는 자신의 전문 지식과 판단력에 의거하여 직접 세부 사항을 결정해야 합니다. 본 정보는 일반적인 수준의 정보에 지나지 않으며, 유효성 여부는 Momentive Technologies가 인지하지 못하는 개별 요인에 영향을 받을 수 있습니다. 특정 상황에 있어서 정보를 적절하게 해석하고 적용하는 것은 전적으로 해당 정보 사용자의 책임입니다.
열 레벨러
당사의 TPG(열분해성흑연, 1500W/mK)계 thermal leveler는 신규 모듈/받침대 솔루션의 균일성을 현저하게 개선하고, 한편으로는 기존 받침대에 대한 드롭인 균일성을 업그레이드합니다. 수십 년간 항공우주/군사 시장에 열관리성 히트싱크를 공급한 경험과 반도체 히터 시장에 대한 당사의 이해가 하나로 합쳐진 당사의 thermal leveler는 3배 더 뛰어난 균일성을 자랑합니다. 이를 기존의 적용 중인 히터 적용하면 수율을 개선하고 처리량을 늘릴 수 있습니다.
모듈
pBN 히터 및/또는 척이 포함된 맞춤형 플러그 앤드 플레이 모듈은 탁월한 열 균일성, 우수한 생산성, 긴 수명, 유지관리의 용이성을 보장합니다.
