세라믹 제품

TaC 코팅 흑연 히터

고온 박막 증착 장비용

Momentive Quartz Technologies Inc는 탄탈륨 카바이드(TaC)로 알려진 독점 코팅이 적용된 고온 저항성 또는 유도성 히터를 제공합니다. 고온 안정성과 높은 내화학성을 갖춘 TaC 코팅 흑연 히터는 열악한 환경에서 히터의 수명을 늘리고 장비 유지보수 주기/비용을 줄이며 생산 수율을 높이는 보다 견고한 가열 솔루션을 제공합니다.

주요 특성

  • 온도 안정성 >2200 °C
  • 초고순도
  • 입자 방출이 적은 하드 코팅
  • H2, NH3, SiH4, CH4에 대한 내성
  • 열 충격 저항성
  • 안정적인 고온 전기 저항
  • 견고한 전기 접촉
  • 컨포멀 코팅 커버리지
  • 흑연에 강한 접착력
  • 간단한 1D 도형부터 복잡한 3D 도형까지

활용 분야

  • 저항성 가열 코일
  • CVD 핫 필라멘트
  • 유도 가열판
  • 유도 가열 실린더

높은 결정성과 우수한 균일성을 갖춘 TaC 코팅

TaC-Coating-with-High-Crystallinity-and-Excellent-Uniformity 10µm
10µm
TaC-Coating-with-High-Crystallinity-and-Excellent-Uniformity 300µm
300µm

1100°C에서 TaC 히터의 적외선 및 광학 이미지

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IR-and-Optical-Image-of-TaC-Heater-temp
IR-and-Optical-Image-of-TaC-Heater-02

1000°C/분 속도로 2000°C까지 열 순환되는 TaC 핫 필라멘트 열전사

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TaC 히터

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