Carbide coatings

카바이드 코팅

극도의 열안정성 및 내화학성
Carbide Coatings

Momentive Technologies만의 카바이드 코팅은 반도체 및 화합물 반도체 소재 처리에서 흑연을 완벽하게 보호합니다. 결과적으로 흑연 부품의 수명을 연장하고 화학적 반응을 억제하며 불순물이 에피택시 및 결정 성장 제품으로 이동하는 것을 억제하고 수율과 품질을 향상합니다.

 

당사의 탄탈룸 카바이드(TaC) 및 니오븀 카바이드(NbC) 코팅은 고온(최대 2200°C)하에 고온의 암모니아, 수소, 실리콘 증기, 용융 금속에서 용광로와 반응기의 주요 부품을 보호합니다. Momentive Technologies는 흑연 가공/측정에서 광범위한 노하우를 축적하여 위탁제조부터 포괄적 서비스까지 고객의 요구에 맞춰 대응할 수 있으며, 당사의 전문 엔지니어 팀은 언제나 고객과 고객의 응용 분야에 적합한 솔루션을 설계할 준비가 되어 있습니다.

주요 특징

2000°C 이상 온도에서도 온도 안정성을 유지하므로 초고온 환경에서도 사용할 수 있습니다.

H2, NH3, SiH4, Si에 내성이 있어 열악한 화학 환경에서도 부품을 보호 하여 줍니다..

충격에 내성이 있어 작업 주기를 가속화합니다.

흑연과 접착하므로 코팅 박리 없이 긴 수명을 보장합니다.

초고순도 제품으로 불필요한 불순물과 오염을 제거합니다.

컨포멀 코팅으로 부품의 치수 공차를 줄입니다.

적용 가능한 분야

웨이퍼 캐리어, 위성 디스크, 샤워 헤드, celing부품, susceptor 등 GaN 및 SiC 에피택셜 CVD 반응기 부품

도가니, 시드 홀더, 가이드 링, 필터 등 SiC, GaN, AlN 결정 성장 소자에 사용되는 부품류

저항 발열체, 사출 노즐, 마스킹 링, 브레이징 고정 장치 등 산업용 부품


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